真空泵的(de)用途(tú)及使用的工業類型(xíng)

一、真空泵的用途分(fèn)類：

1、主(zhǔ)泵：在(zài)真空系統(tǒng)中，用來獲(huò)得所要求(qiú)的真空(kōng)度的真空泵。

2、粗(cū)抽泵：從(cóng)大氣壓開始，降低系統的壓力(lì)達到(dào)另一抽氣系統(tǒng)開始工作(zuò)的真空泵。

3、前級(jí)泵：用以(yǐ)使(shǐ)另一(yī)個泵的(de)前(qián)級壓力維(wéi)持在其.高(gāo)許可的前級壓(yā)力以(yǐ)下的(de)真空(kōng)泵。前級泵(bèng)也可以作粗抽泵使(shǐ)用。

4、維持(chí)泵(bèng)：在真空系(xì)統中配置(zhì)一種容量(liàng)較(jiào)小(xiǎo)的輔助前(qián)級泵(bèng)，維持(chí)主泵(bèng)正常工作或維持已(yǐ)抽空的容(róng)器所(suǒ)需之低壓的真(zhēn)空泵(bèng)。

5、粗(低)真空(kōng)泵：從大氣(qì)壓開始，降低容(róng)器壓力且(qiě)工作(zuò)在低(dī)真空範圍的真空泵。

6、高真空泵(bèng)：在高真(zhēn)空(kōng)範圍(wéi)工作(zuò)的真空泵(bèng)。

7、超高真空(kōng)泵：在(zài)超高真空範圍(wéi)内工作的真空(kōng)泵。

8、增壓泵：裝在(zài)高真空泵和低真空泵之(zhī)間，用(yòng)來提(tí)高抽氣(qì)系統在中間壓力(lì)範圍内的(de)抽氣(qì)量或(huò)降低前級(jí)泵容(róng)量要求的(de)真空泵(如(rú)機械增壓泵和(hé)油增(zēng)壓泵(bèng)等)。

二、各種(zhǒng)真空泵适用的(de)工(gōng)藝類(lèi)型：

1、水環(huán)真空泵(bèng)：适(shì)用(yòng)于(yú)真空(kōng)濃縮、真空(kōng)脫水、真(zhēn)空脫色(sè)、真空(kōng)幹燥、真空(kōng)保(bǎo)鮮、真空(kōng)儲藏(cáng)、真空輸送、真空(kōng)成型等工藝。

2、往(wǎng)複真(zhēn)空泵：适用(yòng)于真空蒸(zhēng)餾、真空濃縮、真空浸(jìn)漬、真(zhēn)空過濾、真(zhēn)空造型、真(zhēn)空幹(gàn)燥、鋼液(yè)真(zhēn)空處(chù)理等工藝。往複真空(kōng)泵(bèng)與水環(huán)真空泵的使(shǐ)用(yòng)工藝基本相同。但是，往(wǎng)複真空(kōng)泵不能直接抽(chōu)水(shuǐ)蒸(zhēng)氣，需(xū)要抽(chōu)水蒸(zhēng)氣(qì)時一定(dìng)要配備冷(lěng)阱，采(cǎi)用制冷壓縮機(jī)系統冷(lěng)卻。

3、油封(fēng)機(jī)械真空泵(包括滑(huá)閥泵、旋片(piàn)泵、定片(piàn)泵(bèng))：适用于真空(kōng)蒸餾、真(zhēn)空幹燥、真空浸漬(zì)、真空(kōng)燒結、真(zhēn)空絕熱、真空釺(qiān)焊、真空(kōng)鍍膜、真(zhēn)空熱處理(lǐ)等工(gōng)藝。當(dāng)前，油(yóu)封機(jī)械真(zhēn)空(kōng)泵作為(wéi)直排(pái)大(dà)氣的真(zhēn)空泵，使用的量(liàng)大面(miàn)廣。

4、羅茨真(zhēn)空泵(機械增壓(yā)泵)：适(shì)用于真空(kōng)燒結、真空(kōng)釺焊(hàn)、真空(kōng)浸漬、真空(kōng)幹燥、真空(kōng)鍍膜(mó)、真空(kōng)輸送、真空(kōng)冶(yě)煉等工藝。絕(jué)大多(duō)數羅茨(cí)泵(bèng)都不能用(yòng)于直排大氣，需要配(pèi)備旋(xuán)片泵或滑閥(fá)泵作為(wéi)前級(jí)泵使用。濕式羅(luó)茨泵可以(yǐ)直排大氣，主(zhǔ)要用于(yú)造紙工業。

5、油增壓泵：适用(yòng)于真(zhēn)空冶煉(liàn)、真空燒結、真空釺(qiān)焊、真空熱(rè)處理(lǐ)等工(gōng)藝。它(tā)與機(jī)械增壓泵相類(lèi)似，不(bú)能直排大氣，必須用旋片泵或(huò)滑閥泵等作為(wéi)前級(jí)泵使用。

6、油(yóu)擴散泵：适(shì)用于(yú)真空鍍膜、真空(kōng)熱處理、真(zhēn)空冶煉、真空提純、真空分析(xī)儀器、真(zhēn)空檢(jiǎn)漏儀、生産(chǎn)電真空器件、宇宙空間模(mó)拟、加(jiā)速器真空(kōng)系統(tǒng)等工藝中使用(yòng)。它适合于抽取(qǔ)高真(zhēn)空(kōng)，本(běn)身(shēn)不(bú)能直排(pái)大氣，必(bì)須配(pèi)備前級泵(bèng)使用。

7、幹式真空泵(螺(luó)杆泵、渦旋(xuán)泵、爪形泵(bèng))：适用于無(wú)油清潔的(de)真空工(gōng)藝(yì)過程(chéng)，例如半導體行(háng)業、電(diàn)子行業、化(huà)工行(háng)業(yè)等各種(zhǒng)工藝中，這幾種(zhǒng)泵都(dōu)能(néng)直(zhí)排大(dà)氣。

8、吸附泵(bèng)：适合于各種真空電(diàn)子器件、集(jí)成電(diàn)路、分析儀器、表(biǎo)面儀器、以及各(gè)種要求清潔無(wú)油的真空系統中使(shǐ)用。

9、钛泵(濺(jiàn)射離子泵、升華泵)：适(shì)用(yòng)于真空(kōng)鍍膜(mó)、電真空器(qì)件、大規模(mó)集成(chéng)電路(lù)、表面物(wù)理、表面(miàn)化(huà)學、熱核(hé)物理(lǐ)、等離(lí)子體(tǐ)物理、超導技術等(děng)工作中。

10、分子(zǐ)泵：适(shì)用于真空鍍膜、集成電路(lù)、表面(miàn)物(wù)理、表面化學(xué)、等離子體(tǐ)物理、光學儀器(qì)、熱核反應、宇航(háng)技術(shù)等工作中(zhōng)。

11、水噴射(shè)泵(bèng)：适合于真(zhēn)空(kōng)倒料、真空輸送、化(huà)工、化(huà)纖、制(zhì)藥、油漆、油(yóu)脂、造紙(zhǐ)、燒(shāo)堿、制糖、食(shí)品、制磚、真(zhēn)空除(chú)氧(yǎng)等工業領域。

12、水蒸氣噴(pēn)射泵：适合于(yú)真(zhēn)空冶煉、真(zhēn)空脫(tuō)氣、真空(kōng)蒸(zhēng)發、真空幹燥、真空回(huí)潮等工業(yè)領域(yù)。

13、低溫泵：适合于(yú)真空(kōng)鍍膜、表面(miàn)物理、超導技術(shù)、宇航(háng)技術等領(lǐng)域(yù)中。