真空(kōng)泵的(de)用途(tú)及使(shǐ)用的(de)工業類型(xíng)

一、真(zhēn)空泵(bèng)的用(yòng)途分類：

1、主泵：在(zài)真空(kōng)系統中，用(yòng)來獲(huò)得所(suǒ)要求的真空度的真(zhēn)空泵。

2、粗抽泵：從(cóng)大氣壓開始，降(jiàng)低系統的(de)壓力達到另一(yī)抽氣系(xì)統(tǒng)開始工作(zuò)的真空泵。

3、前級泵：用以使(shǐ)另一(yī)個泵的前級壓力維(wéi)持在其.高(gāo)許(xǔ)可的前(qián)級壓力以下的真空(kōng)泵。前級泵(bèng)也可以作(zuò)粗抽泵使(shǐ)用。

4、維(wéi)持泵：在真(zhēn)空系統中配置(zhì)一種(zhǒng)容量(liàng)較小的輔(fǔ)助前級泵，維持主(zhǔ)泵(bèng)正常工作(zuò)或(huò)維持已(yǐ)抽空的(de)容(róng)器所需之低壓的(de)真(zhēn)空泵。

5、粗(低(dī))真空(kōng)泵：從大氣壓開(kāi)始，降低容器壓(yā)力且工作在低(dī)真空(kōng)範圍(wéi)的真(zhēn)空泵(bèng)。

6、高真空泵(bèng)：在高真(zhēn)空範圍(wéi)工作(zuò)的真空泵(bèng)。

7、超(chāo)高真空泵：在(zài)超高真(zhēn)空範圍内工作(zuò)的真空(kōng)泵。

8、增(zēng)壓泵：裝在(zài)高真(zhēn)空泵和低(dī)真空泵之間，用(yòng)來提(tí)高抽氣(qì)系統在(zài)中間(jiān)壓力(lì)範圍内的抽氣(qì)量或降低前級(jí)泵(bèng)容量要(yào)求的(de)真空泵(如(rú)機(jī)械(xiè)增壓泵和(hé)油增壓泵(bèng)等)。

二、各種(zhǒng)真空泵适用的(de)工藝(yì)類型：

1、水環(huán)真空泵：适用于(yú)真空濃縮、真空(kōng)脫水、真空(kōng)脫色(sè)、真空(kōng)幹燥(zào)、真空(kōng)保鮮(xiān)、真空儲藏、真空輸送(sòng)、真空(kōng)成型等工藝。

2、往複真空泵：适用(yòng)于真(zhēn)空(kōng)蒸餾、真(zhēn)空(kōng)濃(nóng)縮、真空浸(jìn)漬、真空過濾、真空造型、真(zhēn)空幹(gàn)燥、鋼液真(zhēn)空處(chù)理等(děng)工藝。往複真(zhēn)空泵與水環真空泵的使用(yòng)工藝基本(běn)相同(tóng)。但是，往複真空泵不能直(zhí)接抽(chōu)水蒸(zhēng)氣，需要抽(chōu)水蒸氣時(shí)一定(dìng)要配備冷阱，采(cǎi)用制冷(lěng)壓縮機(jī)系統(tǒng)冷卻。

3、油封(fēng)機械真(zhēn)空泵(包(bāo)括滑(huá)閥泵、旋(xuán)片泵、定片泵(bèng))：适用于真空蒸餾、真(zhēn)空幹燥、真空浸(jìn)漬、真空燒(shāo)結、真(zhēn)空絕(jué)熱(rè)、真空釺(qiān)焊、真空鍍膜、真(zhēn)空熱處(chù)理(lǐ)等工藝。當前，油封機(jī)械(xiè)真空泵作為(wéi)直排大(dà)氣的真(zhēn)空泵，使用(yòng)的量(liàng)大面廣(guǎng)。

4、羅茨真(zhēn)空泵(bèng)(機械(xiè)增壓泵)：适用于(yú)真空(kōng)燒結、真空釺(qiān)焊(hàn)、真空浸漬(zì)、真空(kōng)幹燥、真(zhēn)空鍍膜(mó)、真空(kōng)輸送、真空(kōng)冶煉等工(gōng)藝。絕(jué)大多(duō)數羅(luó)茨泵(bèng)都不能用于直排大氣，需要配(pèi)備旋片(piàn)泵或滑閥(fá)泵作為前級(jí)泵使用。濕(shī)式羅茨泵(bèng)可以直排(pái)大氣，主要用于(yú)造紙(zhǐ)工業。

5、油增(zēng)壓泵：适(shì)用于真(zhēn)空冶(yě)煉(liàn)、真空燒(shāo)結、真空釺(qiān)焊、真(zhēn)空熱處理等工(gōng)藝。它(tā)與(yǔ)機(jī)械增(zēng)壓泵相類似，不(bú)能直排(pái)大氣，必(bì)須用旋片泵或(huò)滑閥泵(bèng)等(děng)作為(wéi)前級泵使用。

6、油(yóu)擴散泵：适用于真空鍍膜、真空(kōng)熱處理(lǐ)、真(zhēn)空冶煉、真空(kōng)提純、真(zhēn)空分析儀(yí)器、真空檢(jiǎn)漏儀(yí)、生産(chǎn)電真空器件、宇(yǔ)宙空間模拟、加(jiā)速器真空(kōng)系統(tǒng)等工(gōng)藝(yì)中使用(yòng)。它适合于抽取(qǔ)高真空，本(běn)身(shēn)不能直排大(dà)氣，必(bì)須配備前級泵(bèng)使用。

7、幹式(shì)真空泵(bèng)(螺杆泵、渦旋(xuán)泵、爪形泵(bèng))：适用于無(wú)油清潔的真空工藝過程，例如半導(dǎo)體行(háng)業、電(diàn)子行業、化工行(háng)業等各種(zhǒng)工藝中，這幾種(zhǒng)泵都能直排大(dà)氣。

8、吸附泵(bèng)：适合于各種真(zhēn)空電(diàn)子器件(jiàn)、集(jí)成電路、分(fèn)析儀器、表面儀(yí)器、以及各種要(yào)求清潔無油(yóu)的真空系統(tǒng)中使用。

9、钛泵(濺(jiàn)射離子泵、升華泵)：适(shì)用(yòng)于(yú)真空鍍膜、電真空器(qì)件、大(dà)規(guī)模集成(chéng)電路、表面(miàn)物理、表面化學(xué)、熱核(hé)物理(lǐ)、等(děng)離子體(tǐ)物理(lǐ)、超(chāo)導技術(shù)等(děng)工作中。

10、分子泵：适用于(yú)真空(kōng)鍍膜(mó)、集成(chéng)電路、表面(miàn)物(wù)理、表面(miàn)化學、等離子體(tǐ)物理、光學儀器(qì)、熱核(hé)反應、宇航(háng)技術等(děng)工(gōng)作中(zhōng)。

11、水噴射(shè)泵(bèng)：适合(hé)于真(zhēn)空倒料、真(zhēn)空輸(shū)送(sòng)、化工、化(huà)纖、制(zhì)藥、油漆、油(yóu)脂、造紙、燒(shāo)堿、制(zhì)糖、食(shí)品(pǐn)、制磚、真(zhēn)空除氧等工業(yè)領域。

12、水蒸(zhēng)氣噴(pēn)射泵(bèng)：适合于真空冶(yě)煉、真空脫氣、真空蒸(zhēng)發、真(zhēn)空幹燥、真空回(huí)潮等(děng)工業領域。

13、低溫泵：适合于(yú)真空鍍膜、表面物理、超導(dǎo)技術(shù)、宇航技術等領(lǐng)域中(zhōng)。