真空(kōng)泵的(de)用途(tú)及使用的工業類型(xíng)

一、真空泵(bèng)的用途分類：

1、主泵：在真空系統中，用(yòng)來獲得所要求(qiú)的(de)真空度的真(zhēn)空泵。

2、粗抽泵：從(cóng)大氣壓開(kāi)始，降(jiàng)低系(xì)統的壓力(lì)達到另一抽氣(qì)系(xì)統開(kāi)始工作(zuò)的真空泵(bèng)。

3、前(qián)級泵：用以使另一(yī)個泵(bèng)的(de)前級壓(yā)力維持在其.高(gāo)許可的前級壓(yā)力以下的真空(kōng)泵。前(qián)級(jí)泵(bèng)也可以作粗抽泵使(shǐ)用。

4、維(wéi)持泵：在真(zhēn)空系統中配置(zhì)一種容(róng)量較小(xiǎo)的輔(fǔ)助(zhù)前(qián)級泵，維持主(zhǔ)泵正常工作(zuò)或(huò)維(wéi)持已抽空(kōng)的容(róng)器所(suǒ)需之(zhī)低壓(yā)的(de)真空泵。

5、粗(低(dī))真空泵：從大氣(qì)壓開(kāi)始，降低(dī)容器壓(yā)力(lì)且工(gōng)作在低(dī)真空範圍的真(zhēn)空泵(bèng)。

6、高真(zhēn)空泵(bèng)：在高真空範圍(wéi)工作的真空泵(bèng)。

7、超高真空(kōng)泵：在超高真空範圍(wéi)内工(gōng)作的(de)真空泵。

8、增壓(yā)泵：裝在(zài)高真(zhēn)空泵(bèng)和低(dī)真空(kōng)泵之間，用(yòng)來提高抽(chōu)氣系(xì)統在中間(jiān)壓力(lì)範圍(wéi)内的(de)抽氣量或(huò)降低(dī)前級(jí)泵容量要(yào)求的(de)真空泵(如機械(xiè)增壓泵和(hé)油增(zēng)壓泵等(děng))。

二、各種(zhǒng)真空泵适用的工(gōng)藝類型：

1、水環(huán)真空泵：适用于(yú)真空濃縮、真空(kōng)脫水、真空脫色、真空(kōng)幹(gàn)燥(zào)、真空(kōng)保(bǎo)鮮、真空儲藏(cáng)、真空(kōng)輸送、真(zhēn)空(kōng)成型等工藝。

2、往(wǎng)複真(zhēn)空(kōng)泵：适用(yòng)于真(zhēn)空蒸餾、真空濃(nóng)縮、真空浸(jìn)漬、真空(kōng)過(guò)濾、真(zhēn)空造型、真(zhēn)空幹(gàn)燥、鋼液真空處理等(děng)工藝(yì)。往複(fú)真(zhēn)空泵與水環(huán)真空泵的(de)使用(yòng)工藝基本相同(tóng)。但是，往(wǎng)複真空(kōng)泵不能(néng)直接抽水蒸氣，需要抽(chōu)水蒸氣時一定(dìng)要配(pèi)備冷阱，采(cǎi)用制冷壓(yā)縮機(jī)系統冷卻。

3、油封(fēng)機(jī)械真空泵(包(bāo)括滑閥泵、旋片(piàn)泵、定片(piàn)泵(bèng))：适用(yòng)于真空蒸(zhēng)餾、真(zhēn)空幹燥、真(zhēn)空浸(jìn)漬、真空燒結、真(zhēn)空絕熱、真(zhēn)空釺(qiān)焊、真(zhēn)空鍍(dù)膜、真(zhēn)空熱處理等工(gōng)藝。當前，油封機(jī)械真空泵作為(wéi)直排大(dà)氣的(de)真(zhēn)空泵，使(shǐ)用的量大面廣。

4、羅茨真空泵(bèng)(機械(xiè)增壓(yā)泵)：适(shì)用于真空(kōng)燒結、真空(kōng)釺焊、真空浸(jìn)漬、真空(kōng)幹燥(zào)、真空鍍膜、真空(kōng)輸送(sòng)、真空(kōng)冶煉(liàn)等工(gōng)藝。絕大多(duō)數羅茨(cí)泵(bèng)都不能用于直排大(dà)氣，需(xū)要配(pèi)備旋(xuán)片(piàn)泵或滑(huá)閥泵作為前級(jí)泵使用。濕(shī)式(shì)羅茨泵(bèng)可(kě)以(yǐ)直排(pái)大氣(qì)，主要用于(yú)造紙工業。

5、油增(zēng)壓泵：适用(yòng)于真(zhēn)空冶(yě)煉、真空燒(shāo)結、真空釺(qiān)焊、真空熱處(chù)理(lǐ)等工(gōng)藝。它(tā)與機(jī)械增(zēng)壓(yā)泵相類似，不(bú)能直排大(dà)氣，必(bì)須用(yòng)旋片泵或(huò)滑閥泵等作為(wéi)前級(jí)泵使用。

6、油(yóu)擴散泵：适用于(yú)真空(kōng)鍍(dù)膜(mó)、真空(kōng)熱處理、真(zhēn)空冶(yě)煉、真空提純、真(zhēn)空分析儀器、真(zhēn)空(kōng)檢漏儀、生産(chǎn)電真空(kōng)器(qì)件(jiàn)、宇(yǔ)宙空間模拟、加(jiā)速器真(zhēn)空(kōng)系統等工(gōng)藝中使用(yòng)。它适合于(yú)抽取(qǔ)高真(zhēn)空，本身不(bú)能直排大氣，必須配(pèi)備(bèi)前級泵(bèng)使用。

7、幹(gàn)式真空泵(螺(luó)杆(gǎn)泵、渦旋(xuán)泵、爪形泵)：适用(yòng)于無油清潔的(de)真空工藝(yì)過程(chéng)，例如(rú)半導(dǎo)體行業(yè)、電子行業、化工行(háng)業等各種(zhǒng)工藝中，這(zhè)幾種(zhǒng)泵都能直排大氣。

8、吸附泵：适合于(yú)各種真空電(diàn)子器件、集(jí)成電路、分析儀器、表(biǎo)面儀器、以(yǐ)及各(gè)種要(yào)求清潔無(wú)油(yóu)的真空(kōng)系統(tǒng)中使用。

9、钛泵(濺(jiàn)射離子泵、升華泵)：适(shì)用(yòng)于真空(kōng)鍍膜、電真(zhēn)空器(qì)件、大(dà)規模集成(chéng)電路、表(biǎo)面(miàn)物理(lǐ)、表面化學、熱核(hé)物理、等離(lí)子體物理、超導技術(shù)等(děng)工(gōng)作中(zhōng)。

10、分子(zǐ)泵：适(shì)用(yòng)于真空(kōng)鍍膜、集成電路、表面物理(lǐ)、表面(miàn)化學(xué)、等離子體物(wù)理、光學(xué)儀器(qì)、熱核反應、宇航技術(shù)等工作中。

11、水噴射(shè)泵：适合(hé)于真(zhēn)空(kōng)倒料、真(zhēn)空輸送、化工、化(huà)纖、制(zhì)藥、油(yóu)漆(qī)、油(yóu)脂、造紙、燒(shāo)堿、制(zhì)糖、食品、制磚、真(zhēn)空除(chú)氧等(děng)工業領域。

12、水(shuǐ)蒸(zhēng)氣噴(pēn)射泵：适(shì)合(hé)于真(zhēn)空冶(yě)煉、真(zhēn)空脫氣、真空蒸發、真(zhēn)空幹(gàn)燥、真空回(huí)潮等(děng)工(gōng)業(yè)領域。

13、低溫(wēn)泵(bèng)：适合于(yú)真空鍍膜(mó)、表面物理(lǐ)、超(chāo)導技術(shù)、宇航技術(shù)等領(lǐng)域中。