真空泵的用(yòng)途及使(shǐ)用(yòng)的工業類型(xíng)
一、真空(kōng)泵的用途分類(lèi):
1、主泵:在(zài)真空系統(tǒng)中,用(yòng)來獲(huò)得(dé)所要求的(de)真空(kōng)度的真(zhēn)空泵。
2、粗抽泵(bèng):從(cóng)大氣壓開(kāi)始,降低系統(tǒng)的壓力(lì)達到(dào)另一抽氣系統(tǒng)開始工作(zuò)的真空泵。
3、前(qián)級(jí)泵:用以使另一(yī)個泵的前(qián)級壓(yā)力維(wéi)持在其.高(gāo)許可的(de)前(qián)級壓(yā)力以下的真空(kōng)泵。前(qián)級(jí)泵也可以作粗(cū)抽泵使(shǐ)用。
4、維持泵:在真(zhēn)空系統中配置(zhì)一種(zhǒng)容量較小(xiǎo)的輔助(zhù)前級泵(bèng),維持主(zhǔ)泵正常工作或維持已(yǐ)抽空的容(róng)器所(suǒ)需之低壓的(de)真(zhēn)空泵(bèng)。
5、粗(cū)(低)真空(kōng)泵:從大(dà)氣壓開(kāi)始,降(jiàng)低(dī)容器壓力且工作在低(dī)真空範圍的真(zhēn)空泵(bèng)。
6、高真空泵(bèng):在高真空範圍工作的真(zhēn)空泵(bèng)。
7、超高真空(kōng)泵:在(zài)超高真空範圍(wéi)内工作(zuò)的真空(kōng)泵。
8、增(zēng)壓泵:裝在(zài)高真(zhēn)空(kōng)泵和低(dī)真空(kōng)泵之(zhī)間,用(yòng)來提高抽氣系(xì)統在中(zhōng)間(jiān)壓力(lì)範圍内(nèi)的(de)抽氣量或(huò)降低前級(jí)泵(bèng)容量要(yào)求的(de)真空泵(bèng)(如(rú)機(jī)械(xiè)增壓泵(bèng)和油增(zēng)壓泵等)。

二、各種(zhǒng)真空(kōng)泵适用的工藝類型(xíng):
1、水環(huán)真空泵:适(shì)用(yòng)于(yú)真空濃縮、真空(kōng)脫水、真空脫色(sè)、真空(kōng)幹燥、真空(kōng)保鮮、真空儲藏(cáng)、真空(kōng)輸(shū)送、真空(kōng)成型(xíng)等工(gōng)藝。
2、往複真空(kōng)泵(bèng):适用(yòng)于真空(kōng)蒸餾、真(zhēn)空濃縮、真空浸(jìn)漬、真空過濾、真(zhēn)空造(zào)型(xíng)、真(zhēn)空幹(gàn)燥、鋼液真空處(chù)理等工(gōng)藝。往複(fú)真空(kōng)泵與水環(huán)真空(kōng)泵的使(shǐ)用(yòng)工藝基本(běn)相同(tóng)。但是,往複真空(kōng)泵不能直接抽(chōu)水(shuǐ)蒸(zhēng)氣,需要抽(chōu)水蒸氣時(shí)一定要配(pèi)備(bèi)冷阱,采用制冷(lěng)壓縮機(jī)系統冷卻。
3、油封機械真空泵(包括滑(huá)閥泵、旋片(piàn)泵、定片泵(bèng)):适用(yòng)于真(zhēn)空蒸餾、真(zhēn)空幹燥、真空浸(jìn)漬、真空(kōng)燒(shāo)結、真(zhēn)空絕熱、真(zhēn)空釺焊、真(zhēn)空鍍(dù)膜、真(zhēn)空熱(rè)處理等工藝。當前,油封機(jī)械真空泵(bèng)作為(wéi)直排(pái)大氣的(de)真(zhēn)空泵,使用(yòng)的量(liàng)大面廣(guǎng)。
4、羅茨真(zhēn)空泵(bèng)(機械增壓泵):适用于(yú)真空(kōng)燒結、真空釺焊、真空浸漬(zì)、真空幹燥、真空鍍膜、真空輸(shū)送(sòng)、真空(kōng)冶(yě)煉等工藝。絕大多數羅(luó)茨(cí)泵(bèng)都不能用(yòng)于直排大氣,需(xū)要配(pèi)備旋(xuán)片泵或滑(huá)閥泵作為前級(jí)泵使(shǐ)用。濕(shī)式羅茨泵(bèng)可以(yǐ)直排(pái)大氣,主要用于(yú)造紙工業。
5、油增(zēng)壓泵:适(shì)用(yòng)于真(zhēn)空冶煉(liàn)、真空(kōng)燒結、真空釺焊、真空熱處(chù)理(lǐ)等工(gōng)藝。它(tā)與機(jī)械增(zēng)壓泵相類似,不(bú)能直排大(dà)氣,必須用(yòng)旋片泵或(huò)滑閥(fá)泵等(děng)作為前級泵使用。
6、油擴散泵:适(shì)用于真空鍍(dù)膜、真空(kōng)熱處理、真空冶煉、真(zhēn)空(kōng)提純、真(zhēn)空分析(xī)儀器、真空檢漏儀、生産(chǎn)電真空(kōng)器(qì)件、宇(yǔ)宙空間模(mó)拟、加(jiā)速器真空系統(tǒng)等工(gōng)藝(yì)中使用(yòng)。它适合(hé)于(yú)抽取(qǔ)高真空,本(běn)身不(bú)能直排(pái)大(dà)氣,必須配備前級泵使用。
7、幹式真空泵(bèng)(螺(luó)杆泵、渦旋(xuán)泵、爪形泵(bèng)):适(shì)用于無(wú)油清(qīng)潔的(de)真空工藝(yì)過程(chéng),例如(rú)半導(dǎo)體行(háng)業(yè)、電子(zǐ)行業、化(huà)工行業等各(gè)種(zhǒng)工藝(yì)中,這幾種(zhǒng)泵都能直排大(dà)氣。
8、吸(xī)附泵:适合(hé)于各(gè)種真空電(diàn)子器(qì)件、集成電路、分析儀器、表面儀器(qì)、以及各(gè)種要(yào)求清潔無油(yóu)的真(zhēn)空系統中使用。
9、钛泵(濺(jiàn)射離子泵(bèng)、升華泵):适用于真空(kōng)鍍膜、電(diàn)真空器件、大(dà)規(guī)模集成(chéng)電路、表面物理、表面(miàn)化學(xué)、熱核(hé)物理(lǐ)、等離(lí)子體(tǐ)物理(lǐ)、超導技術等工作中。
10、分子(zǐ)泵:适用(yòng)于真(zhēn)空(kōng)鍍膜、集(jí)成電路、表面物理、表面化學、等離子體(tǐ)物理、光學儀器(qì)、熱核反應(yīng)、宇(yǔ)航(háng)技術等工(gōng)作中(zhōng)。
11、水噴射泵:适合(hé)于真(zhēn)空倒料、真(zhēn)空輸送、化(huà)工、化(huà)纖、制藥、油(yóu)漆(qī)、油(yóu)脂、造紙、燒(shāo)堿、制(zhì)糖、食(shí)品、制磚、真(zhēn)空除(chú)氧等工業(yè)領域(yù)。
12、水蒸氣噴(pēn)射泵:适(shì)合于真(zhēn)空冶煉、真(zhēn)空脫氣、真空(kōng)蒸(zhēng)發、真(zhēn)空幹(gàn)燥、真空回(huí)潮等工業(yè)領域。
13、低溫泵(bèng):适(shì)合于(yú)真空鍍(dù)膜、表面(miàn)物理(lǐ)、超導技術(shù)、宇航技術(shù)等領(lǐng)域(yù)中。