真空(kōng)泵的用途及使用的(de)工業(yè)類型(xíng)
一、真空泵的用(yòng)途分類:
1、主泵:在(zài)真空(kōng)系統(tǒng)中,用來獲得(dé)所要求(qiú)的真空度(dù)的真(zhēn)空泵(bèng)。
2、粗抽泵:從(cóng)大氣壓開(kāi)始,降低系統(tǒng)的壓力(lì)達到另一抽氣系統開始工作(zuò)的真空泵(bèng)。
3、前級(jí)泵:用以使(shǐ)另一(yī)個泵的前級壓力維持在其.高(gāo)許可(kě)的前級壓(yā)力以下的真(zhēn)空(kōng)泵。前級(jí)泵也可以作粗抽泵使(shǐ)用。
4、維持泵:在真(zhēn)空系統(tǒng)中配置(zhì)一種(zhǒng)容量較(jiào)小的輔(fǔ)助前級泵,維持主泵(bèng)正常工作或(huò)維持已抽(chōu)空的容器所(suǒ)需之低壓的真(zhēn)空泵。
5、粗(低(dī))真空(kōng)泵:從大氣壓開(kāi)始,降(jiàng)低容器壓(yā)力且工作(zuò)在低(dī)真空範(fàn)圍的真空泵(bèng)。
6、高真空泵(bèng):在高(gāo)真(zhēn)空範圍(wéi)工作的(de)真空泵(bèng)。
7、超高真(zhēn)空泵:在(zài)超高(gāo)真空(kōng)範圍(wéi)内工作(zuò)的真空(kōng)泵。
8、增(zēng)壓泵:裝在(zài)高真空泵和低真空(kōng)泵(bèng)之間,用(yòng)來提高抽氣系(xì)統在(zài)中間壓力範圍内的抽氣(qì)量或(huò)降(jiàng)低前級(jí)泵容量要求的真空(kōng)泵(bèng)(如(rú)機械(xiè)增壓泵和油增壓泵(bèng)等(děng))。

二、各種真空(kōng)泵(bèng)适用的(de)工藝類型:
1、水環(huán)真空泵:适(shì)用于(yú)真空濃縮、真空(kōng)脫水、真空脫色、真空(kōng)幹燥、真空(kōng)保鮮、真空(kōng)儲藏(cáng)、真空(kōng)輸送、真空成型等工藝。
2、往(wǎng)複真空(kōng)泵:适用(yòng)于真(zhēn)空蒸餾、真(zhēn)空(kōng)濃(nóng)縮、真空浸(jìn)漬、真(zhēn)空過(guò)濾(lǜ)、真(zhēn)空造型、真(zhēn)空幹(gàn)燥、鋼(gāng)液(yè)真空處(chù)理等工藝。往複真空泵(bèng)與水環(huán)真空(kōng)泵的使用(yòng)工藝(yì)基本(běn)相同(tóng)。但是(shì),往複(fú)真空(kōng)泵不(bú)能(néng)直接抽(chōu)水蒸氣,需要抽(chōu)水蒸氣時(shí)一(yī)定要配備冷阱,采(cǎi)用制冷壓縮機(jī)系統(tǒng)冷卻。
3、油封(fēng)機械真空(kōng)泵(包括滑(huá)閥泵、旋片(piàn)泵、定片泵):适用于真空蒸(zhēng)餾、真空幹(gàn)燥、真(zhēn)空浸(jìn)漬、真空燒(shāo)結、真(zhēn)空絕熱、真(zhēn)空釺(qiān)焊、真空鍍(dù)膜、真(zhēn)空熱處(chù)理等工(gōng)藝。當前,油封機(jī)械真空(kōng)泵(bèng)作為(wéi)直排大氣的真(zhēn)空泵,使用的量(liàng)大面廣。
4、羅茨真空泵(bèng)(機械增壓泵):适用于真空(kōng)燒結、真空釺焊、真空(kōng)浸(jìn)漬、真空幹燥、真(zhēn)空鍍膜(mó)、真空輸送、真空(kōng)冶煉等工藝。絕(jué)大多數羅茨泵(bèng)都不能用(yòng)于直排大氣(qì),需要配(pèi)備旋片泵(bèng)或滑(huá)閥(fá)泵作為(wéi)前級(jí)泵使用(yòng)。濕式羅茨泵(bèng)可以直排(pái)大氣(qì),主(zhǔ)要(yào)用于(yú)造紙工(gōng)業。
5、油增(zēng)壓泵:适用于真(zhēn)空冶煉、真(zhēn)空(kōng)燒結、真空(kōng)釺焊、真(zhēn)空熱處(chù)理等工(gōng)藝。它與(yǔ)機械增(zēng)壓泵(bèng)相類似,不(bú)能直排(pái)大(dà)氣,必(bì)須用旋片泵或(huò)滑閥(fá)泵(bèng)等(děng)作為前級(jí)泵使用。
6、油(yóu)擴散泵(bèng):适用于(yú)真空鍍膜、真(zhēn)空(kōng)熱處理、真空冶煉、真(zhēn)空(kōng)提純、真(zhēn)空分(fèn)析(xī)儀(yí)器、真(zhēn)空(kōng)檢漏儀(yí)、生産(chǎn)電真(zhēn)空器件、宇(yǔ)宙空間模拟、加(jiā)速器真空系統等工(gōng)藝中使用(yòng)。它适合于(yú)抽取(qǔ)高真(zhēn)空,本身(shēn)不(bú)能直排大(dà)氣,必(bì)須配備前級泵(bèng)使用(yòng)。
7、幹式(shì)真空(kōng)泵(螺杆泵、渦旋(xuán)泵、爪形泵(bèng)):适用于無油清(qīng)潔的真空工藝過程(chéng),例如(rú)半導體行(háng)業(yè)、電子行業、化(huà)工行業等(děng)各種(zhǒng)工藝中,這(zhè)幾種(zhǒng)泵都能直(zhí)排大(dà)氣。
8、吸附(fù)泵(bèng):适合于各種真(zhēn)空電(diàn)子器件、集(jí)成電路、分析儀(yí)器、表(biǎo)面儀器、以及各種要求清潔無(wú)油(yóu)的真空系統(tǒng)中使(shǐ)用。
9、钛泵(濺射離子泵(bèng)、升華泵):适用于真空(kōng)鍍膜、電真空器(qì)件、大規模集成(chéng)電路、表面物理、表面化學、熱核(hé)物理、等(děng)離子體物理(lǐ)、超導技術(shù)等工作中(zhōng)。
10、分子(zǐ)泵:适(shì)用(yòng)于真空(kōng)鍍膜、集成(chéng)電路(lù)、表面(miàn)物理、表面(miàn)化學、等離子體物理(lǐ)、光學儀器(qì)、熱核反應、宇航(háng)技術等工(gōng)作中(zhōng)。
11、水噴射泵:适合(hé)于真空倒料、真(zhēn)空(kōng)輸送、化工、化(huà)纖、制藥、油漆、油(yóu)脂、造紙、燒堿、制(zhì)糖、食品(pǐn)、制磚、真空除氧等(děng)工業領域。
12、水蒸(zhēng)氣噴(pēn)射泵:适合(hé)于(yú)真空冶煉(liàn)、真空脫(tuō)氣、真空(kōng)蒸發、真(zhēn)空幹(gàn)燥(zào)、真(zhēn)空回(huí)潮等工業領域(yù)。
13、低溫泵:适合于(yú)真空(kōng)鍍(dù)膜(mó)、表面(miàn)物理(lǐ)、超(chāo)導(dǎo)技術(shù)、宇航技(jì)術等領域中。