真(zhēn)空泵的用途及(jí)使用的工業類(lèi)型

一、真空泵的(de)用途(tú)分類：

1、主(zhǔ)泵(bèng)：在真(zhēn)空系統中(zhōng)，用來獲得(dé)所要求的真空(kōng)度的真空(kōng)泵。

2、粗(cū)抽泵(bèng)：從大(dà)氣(qì)壓開始(shǐ)，降低(dī)系統的壓(yā)力達到(dào)另一抽(chōu)氣系(xì)統開始工(gōng)作的真空泵。

3、前(qián)級泵：用以使(shǐ)另一個泵(bèng)的前級壓力(lì)維持在其(qí).高許(xǔ)可的前級(jí)壓力(lì)以(yǐ)下的真(zhēn)空泵。前(qián)級(jí)泵也(yě)可以作粗抽泵(bèng)使用(yòng)。

4、維持(chí)泵：在真空(kōng)系統中配置一種(zhǒng)容(róng)量較小的(de)輔助前(qián)級(jí)泵，維持主(zhǔ)泵正(zhèng)常工作或維持(chí)已抽空的(de)容器(qì)所需之低壓的(de)真空(kōng)泵。

5、粗(低)真(zhēn)空泵(bèng)：從大(dà)氣壓(yā)開始(shǐ)，降(jiàng)低容器(qì)壓力(lì)且工作在(zài)低真空(kōng)範圍的真空泵。

6、高真空(kōng)泵：在高真空範(fàn)圍工作的真空(kōng)泵。

7、超高真(zhēn)空泵(bèng)：在超高真空範(fàn)圍内工作(zuò)的真空泵。

8、增壓泵：裝(zhuāng)在高真(zhēn)空(kōng)泵和(hé)低真(zhēn)空泵(bèng)之間(jiān)，用來提高抽氣(qì)系統在中間壓力範圍内(nèi)的抽(chōu)氣量或降低前(qián)級泵容量(liàng)要求(qiú)的(de)真空泵(如機(jī)械增壓泵(bèng)和油增壓(yā)泵(bèng)等(děng))。

二、各種真空泵(bèng)适用的工藝類型：

1、水(shuǐ)環真(zhēn)空(kōng)泵：适用(yòng)于真(zhēn)空濃縮(suō)、真(zhēn)空脫水、真(zhēn)空脫色、真空(kōng)幹燥、真(zhēn)空保鮮(xiān)、真空儲藏、真空輸(shū)送、真(zhēn)空成型等工藝。

2、往複真空泵：适(shì)用于真(zhēn)空(kōng)蒸餾、真空濃縮(suō)、真空(kōng)浸(jìn)漬、真(zhēn)空(kōng)過濾(lǜ)、真空造型、真空幹燥、鋼(gāng)液(yè)真空(kōng)處理(lǐ)等(děng)工(gōng)藝。往(wǎng)複真空泵與水(shuǐ)環(huán)真空泵(bèng)的使(shǐ)用工藝(yì)基本相同。但(dàn)是，往複真空泵不(bú)能直接(jiē)抽水(shuǐ)蒸氣，需要(yào)抽水(shuǐ)蒸(zhēng)氣時一(yī)定要配備冷阱(jǐng)，采用制(zhì)冷(lěng)壓縮(suō)機系統(tǒng)冷(lěng)卻。

3、油(yóu)封機械真空泵(bèng)(包括滑閥泵、旋(xuán)片泵、定片泵)：适用于(yú)真(zhēn)空蒸餾(liú)、真空幹燥(zào)、真空浸漬(zì)、真空燒結(jié)、真(zhēn)空絕熱、真空(kōng)釺焊(hàn)、真空鍍膜(mó)、真空(kōng)熱(rè)處理等(děng)工藝。當前，油封(fēng)機械(xiè)真空泵作(zuò)為(wéi)直排大氣的(de)真空(kōng)泵，使用的量大(dà)面廣。

4、羅茨(cí)真空泵(機械增(zēng)壓泵)：适用于真(zhēn)空燒結、真(zhēn)空釺(qiān)焊、真空浸漬、真(zhēn)空幹(gàn)燥、真(zhēn)空鍍膜、真(zhēn)空(kōng)輸送、真(zhēn)空冶(yě)煉等工藝。絕大(dà)多(duō)數羅茨(cí)泵都不能(néng)用于直排大氣，需要(yào)配備旋片(piàn)泵或(huò)滑閥(fá)泵作為前(qián)級泵使用。濕式羅茨(cí)泵可以直(zhí)排大(dà)氣，主要用(yòng)于造紙(zhǐ)工業。

5、油(yóu)增壓泵：适用于真空(kōng)冶煉(liàn)、真空(kōng)燒結、真空釺焊、真空熱處理等(děng)工藝。它與(yǔ)機械(xiè)增壓泵(bèng)相類似(sì)，不能直排大氣(qì)，必須(xū)用旋片泵(bèng)或滑閥泵等作(zuò)為前級(jí)泵使用(yòng)。

6、油擴(kuò)散泵：适用(yòng)于真空鍍膜、真(zhēn)空熱處理(lǐ)、真空冶煉、真(zhēn)空(kōng)提純(chún)、真空分析儀器(qì)、真空檢漏儀、生(shēng)産(chǎn)電真空器件(jiàn)、宇宙(zhòu)空(kōng)間(jiān)模拟(nǐ)、加速器真(zhēn)空系(xì)統等工(gōng)藝中使(shǐ)用。它(tā)适合于抽取高真空，本身(shēn)不能直排大氣(qì)，必須配備(bèi)前級(jí)泵使用。

7、幹(gàn)式真(zhēn)空泵(bèng)(螺杆泵、渦(wō)旋泵、爪形泵)：适用于無油清(qīng)潔(jié)的真空工(gōng)藝過(guò)程，例如(rú)半導體(tǐ)行業、電子(zǐ)行業、化工(gōng)行(háng)業等各(gè)種工藝中，這幾種泵都(dōu)能直排(pái)大氣。

8、吸附泵：适(shì)合于(yú)各種真空(kōng)電子器件、集成(chéng)電路、分析儀器(qì)、表面(miàn)儀器(qì)、以及各種要求清潔(jié)無油(yóu)的真空系統(tǒng)中使用。

9、钛泵(bèng)(濺射離子(zǐ)泵(bèng)、升(shēng)華泵)：适用于真(zhēn)空鍍膜、電真空(kōng)器件(jiàn)、大規(guī)模集成(chéng)電(diàn)路(lù)、表(biǎo)面物(wù)理、表面化學、熱(rè)核物理、等(děng)離子(zǐ)體物(wù)理、超(chāo)導技術等工作中。

10、分(fèn)子泵：适(shì)用于真(zhēn)空鍍(dù)膜、集成電(diàn)路、表(biǎo)面(miàn)物理、表(biǎo)面化學、等(děng)離子(zǐ)體物理(lǐ)、光學儀(yí)器、熱核(hé)反應、宇(yǔ)航技術(shù)等工作(zuò)中。

11、水(shuǐ)噴射泵：适(shì)合于真空倒料(liào)、真空輸送、化工(gōng)、化纖、制(zhì)藥、油漆(qī)、油脂、造(zào)紙、燒堿(jiǎn)、制糖、食品、制磚(zhuān)、真空除(chú)氧等工(gōng)業領(lǐng)域。

12、水(shuǐ)蒸氣噴射泵：适(shì)合于(yú)真空(kōng)冶(yě)煉、真空(kōng)脫氣、真空(kōng)蒸發、真空(kōng)幹燥、真空回潮等(děng)工(gōng)業領域。

13、低溫泵：适合(hé)于真空鍍膜、表面物(wù)理(lǐ)、超(chāo)導技(jì)術、宇(yǔ)航技術等(děng)領域(yù)中。