真空泵的用途及使用(yòng)的(de)工業類(lèi)型

一、真空(kōng)泵的(de)用途(tú)分類：

1、主泵(bèng)：在真空(kōng)系(xì)統中，用來(lái)獲得所要(yào)求的真空度的真(zhēn)空(kōng)泵(bèng)。

2、粗抽泵(bèng)：從大(dà)氣壓開(kāi)始，降低系統的壓(yā)力達(dá)到另一抽(chōu)氣系統開(kāi)始工(gōng)作(zuò)的(de)真空泵。

3、前(qián)級泵：用(yòng)以使另(lìng)一個泵的前級壓力(lì)維(wéi)持在其(qí).高許(xǔ)可(kě)的(de)前級(jí)壓(yā)力以下的真(zhēn)空泵(bèng)。前級泵也(yě)可以作粗抽泵(bèng)使用。

4、維持(chí)泵：在(zài)真空(kōng)系(xì)統中配(pèi)置一種容(róng)量較(jiào)小的輔助前級(jí)泵，維(wéi)持主泵正常工作或維持(chí)已抽空的容器所需之低壓的(de)真空泵。

5、粗(低(dī))真(zhēn)空泵：從大(dà)氣壓(yā)開始，降低容器(qì)壓力(lì)且工作在(zài)低(dī)真空範圍的(de)真空泵。

6、高真(zhēn)空(kōng)泵：在高(gāo)真(zhēn)空範(fàn)圍工作(zuò)的(de)真空泵。

7、超高真空泵：在超高真空範(fàn)圍内工作的真(zhēn)空泵(bèng)。

8、增壓泵：裝在高(gāo)真(zhēn)空泵和低真空泵之間(jiān)，用(yòng)來提高(gāo)抽氣系統在(zài)中間壓(yā)力範圍(wéi)内的抽(chōu)氣量(liàng)或降低前(qián)級泵容量要求的真空(kōng)泵(如機(jī)械增壓泵和油增壓泵等)。

二、各(gè)種真空泵适用(yòng)的工(gōng)藝類型：

1、水(shuǐ)環真(zhēn)空泵(bèng)：适用(yòng)于真(zhēn)空(kōng)濃(nóng)縮、真(zhēn)空脫水、真空脫色、真(zhēn)空(kōng)幹(gàn)燥、真(zhēn)空保鮮、真空儲藏、真(zhēn)空輸送、真(zhēn)空成型等(děng)工藝。

2、往複(fú)真空(kōng)泵：适(shì)用于真空蒸餾、真空(kōng)濃縮、真空(kōng)浸漬(zì)、真空(kōng)過濾、真空(kōng)造(zào)型、真空(kōng)幹燥(zào)、鋼液真空(kōng)處理(lǐ)等工藝。往(wǎng)複真空泵與水(shuǐ)環真空泵的使(shǐ)用工藝基(jī)本相同。但(dàn)是，往複真空泵不能(néng)直接抽水蒸氣，需要(yào)抽(chōu)水蒸氣(qì)時一(yī)定要配備冷阱，采用制(zhì)冷(lěng)壓縮(suō)機系統(tǒng)冷卻。

3、油(yóu)封機(jī)械真空泵(bèng)(包括(kuò)滑閥泵、旋(xuán)片泵、定片泵)：适(shì)用于真空(kōng)蒸餾(liú)、真空幹燥、真空(kōng)浸漬、真空燒結(jié)、真空絕熱、真空(kōng)釺焊、真空(kōng)鍍膜(mó)、真空熱處理等工藝。當前，油封(fēng)機械真空泵作(zuò)為直排大氣的(de)真空泵(bèng)，使用(yòng)的量大面廣(guǎng)。

4、羅茨(cí)真空泵(機(jī)械增壓泵)：适(shì)用于真(zhēn)空燒結(jié)、真空釺(qiān)焊、真空浸(jìn)漬(zì)、真(zhēn)空幹燥、真(zhēn)空鍍(dù)膜、真空(kōng)輸(shū)送、真(zhēn)空冶煉(liàn)等(děng)工藝。絕大(dà)多數羅茨(cí)泵都不(bú)能用于(yú)直排(pái)大氣，需要(yào)配備旋片泵或(huò)滑閥(fá)泵作(zuò)為前(qián)級泵(bèng)使用。濕式(shì)羅茨泵可以直(zhí)排大氣，主要用(yòng)于造紙工業。

5、油(yóu)增壓泵：适(shì)用于真空冶煉、真空(kōng)燒結、真空釺焊、真空(kōng)熱處理等(děng)工藝。它(tā)與(yǔ)機械增壓泵相類似(sì)，不能直排(pái)大氣，必須用旋片泵(bèng)或滑閥泵等作(zuò)為前級泵使用(yòng)。

6、油擴(kuò)散(sàn)泵(bèng)：适用于真(zhēn)空(kōng)鍍膜、真(zhēn)空熱處理、真空冶煉、真空提純(chún)、真空分析(xī)儀器(qì)、真空(kōng)檢漏儀、生(shēng)産電真(zhēn)空器件(jiàn)、宇宙(zhòu)空間模拟(nǐ)、加速器(qì)真(zhēn)空系(xì)統等工藝(yì)中使(shǐ)用。它适(shì)合于抽(chōu)取(qǔ)高真空，本身(shēn)不能直排大氣，必須(xū)配備(bèi)前級(jí)泵使用(yòng)。

7、幹式真(zhēn)空泵(螺杆泵、渦(wō)旋泵、爪形泵)：适(shì)用于無(wú)油清(qīng)潔(jié)的真(zhēn)空工(gōng)藝過(guò)程，例(lì)如半導體(tǐ)行業、電(diàn)子(zǐ)行業、化工行業(yè)等各(gè)種工藝(yì)中，這幾(jǐ)種泵都能(néng)直排大氣。

8、吸(xī)附(fù)泵：适合于各種(zhǒng)真空(kōng)電(diàn)子器(qì)件(jiàn)、集成(chéng)電路、分析儀器(qì)、表面儀器(qì)、以及各種要(yào)求清潔(jié)無油的真空系統中使用。

9、钛泵(bèng)(濺射離子(zǐ)泵、升(shēng)華泵(bèng))：适用(yòng)于真(zhēn)空鍍膜(mó)、電(diàn)真空(kōng)器件(jiàn)、大規模集(jí)成電路、表(biǎo)面物(wù)理、表面化學、熱(rè)核物理、等(děng)離子(zǐ)體物(wù)理、超導技(jì)術等工作(zuò)中。

10、分(fèn)子泵：适(shì)用于真(zhēn)空鍍(dù)膜、集成(chéng)電(diàn)路、表(biǎo)面物理、表(biǎo)面化學(xué)、等(děng)離子體物(wù)理(lǐ)、光學儀器、熱核反應、宇(yǔ)航技術等工作(zuò)中。

11、水噴(pēn)射(shè)泵：适(shì)合于真空倒料(liào)、真空輸送、化工、化纖(xiān)、制藥(yào)、油漆(qī)、油脂、造紙、燒堿(jiǎn)、制糖(táng)、食品、制磚(zhuān)、真空(kōng)除氧等工(gōng)業領(lǐng)域。

12、水蒸氣(qì)噴射(shè)泵(bèng)：适合于(yú)真空(kōng)冶煉、真空(kōng)脫氣(qì)、真空蒸發(fā)、真空(kōng)幹燥、真空(kōng)回潮(cháo)等工業領(lǐng)域。

13、低溫泵：适合(hé)于真空鍍(dù)膜、表(biǎo)面物理、超(chāo)導技術、宇航(háng)技(jì)術等領域中。