真空(kong)泵的(de)用途及使(shi)用的(de)工(gong)業類型(xing)
一、真(zhen)空(kong)泵(beng)的用(yong)途分類:
1、主泵:在(zai)真空(kong)系統中,用來獲(huo)得(de)所(suo)要求(qiu)的真空度(du)的真(zhen)空泵(beng)。
2、粗抽(chou)泵:從(cong)大氣壓開始,降低系(xi)統(tong)的壓力(li)達到另(ling)一(yi)抽氣(qi)系統(tong)開始(shi)工作(zuo)的真(zhen)空泵(beng)。
3、前級(ji)泵:用(yong)以使(shi)另一(yi)個泵(beng)的前級壓(ya)力維(wei)持(chi)在其.高(gao)許可的前(qian)級壓力以(yi)下(xia)的真空(kong)泵。前級(ji)泵也可(ke)以作(zuo)粗抽(chou)泵使(shi)用。
4、維持(chi)泵:在真(zhen)空系(xi)統(tong)中配置(zhi)一種(zhong)容(rong)量較小(xiao)的輔(fu)助(zhu)前級泵(beng),維持(chi)主泵正常(chang)工作(zuo)或維持已(yi)抽空(kong)的(de)容(rong)器所(suo)需之低壓的真(zhen)空泵(beng)。
5、粗(低)真空(kong)泵:從大(da)氣壓開(kai)始,降低容(rong)器壓(ya)力且工(gong)作(zuo)在低(di)真空(kong)範圍的真(zhen)空泵(beng)。
6、高真(zhen)空泵(beng):在高(gao)真(zhen)空(kong)範圍工作的真空泵(beng)。
7、超高(gao)真空(kong)泵:在超高(gao)真空範圍(wei)内工作的(de)真空泵。
8、增壓(ya)泵(beng):裝在(zai)高真空(kong)泵(beng)和低(di)真空(kong)泵之(zhi)間,用(yong)來提(ti)高抽(chou)氣系(xi)統在(zai)中間(jian)壓力(li)範圍内的(de)抽氣(qi)量或(huo)降低前級(ji)泵容量要求的真空泵(如機械(xie)增壓(ya)泵(beng)和油增(zeng)壓泵(beng)等)。

二、各種(zhong)真空泵适用的(de)工藝類型(xing):
1、水環(huan)真空泵:适(shi)用于(yu)真空濃縮、真空(kong)脫水、真空(kong)脫色(se)、真空(kong)幹(gan)燥、真空(kong)保鮮、真空(kong)儲藏(cang)、真空(kong)輸送(song)、真空(kong)成型等工藝。
2、往複真空泵:适用(yong)于真(zhen)空(kong)蒸餾、真(zhen)空濃縮、真(zhen)空浸(jin)漬、真空過濾、真空造(zao)型(xing)、真空幹(gan)燥、鋼液(ye)真(zhen)空處(chu)理等(deng)工藝(yi)。往複(fu)真空(kong)泵與水環(huan)真空(kong)泵的使用(yong)工藝基(ji)本(ben)相同(tong)。但是(shi),往複(fu)真空(kong)泵不(bu)能直(zhi)接抽(chou)水蒸(zheng)氣,需要抽(chou)水蒸氣時一定(ding)要配(pei)備(bei)冷(leng)阱,采(cai)用制(zhi)冷壓縮機(ji)系統(tong)冷卻(que)。
3、油封(feng)機械真空泵(包(bao)括滑閥泵、旋片(pian)泵、定(ding)片泵(beng)):适用(yong)于真(zhen)空蒸餾、真(zhen)空幹(gan)燥、真空浸漬、真(zhen)空(kong)燒(shao)結、真(zhen)空絕(jue)熱、真空釺焊、真(zhen)空鍍膜、真(zhen)空熱處理(li)等工(gong)藝。當前,油封機(ji)械真空(kong)泵(beng)作為直排(pai)大(da)氣(qi)的真(zhen)空泵(beng),使用(yong)的量大面廣。
4、羅茨真(zhen)空泵(機械(xie)增壓(ya)泵):适(shi)用于真空(kong)燒結、真(zhen)空(kong)釺焊、真空浸漬(zi)、真空(kong)幹燥、真(zhen)空(kong)鍍膜、真空(kong)輸送、真空(kong)冶煉等工(gong)藝。絕大多(duo)數羅茨泵(beng)都不(bu)能(neng)用于直(zhi)排大(da)氣(qi),需(xu)要配(pei)備旋(xuan)片泵或滑閥泵作為前級(ji)泵使用。濕(shi)式羅(luo)茨泵可(ke)以直排(pai)大氣,主要用于(yu)造紙(zhi)工業。
5、油增(zeng)壓泵(beng):适用于真空冶(ye)煉、真空燒(shao)結、真空(kong)釺(qian)焊、真(zhen)空熱(re)處(chu)理等工(gong)藝。它與機(ji)械增(zeng)壓泵(beng)相類似,不(bu)能直排(pai)大(da)氣,必(bi)須用旋片泵或(huo)滑閥(fa)泵等(deng)作為前級(ji)泵使(shi)用。
6、油(you)擴散泵:适(shi)用于真空(kong)鍍膜(mo)、真空(kong)熱處理(li)、真(zhen)空冶(ye)煉、真(zhen)空提(ti)純、真(zhen)空分析儀(yi)器、真空檢(jian)漏(lou)儀、生産(chan)電真空器件、宇宙空(kong)間模拟、加(jia)速器(qi)真空(kong)系統等工藝中使用(yong)。它适(shi)合于(yu)抽取高真(zhen)空,本身不(bu)能直(zhi)排大(da)氣,必(bi)須配(pei)備前(qian)級泵(beng)使用(yong)。
7、幹(gan)式真空(kong)泵(螺(luo)杆泵(beng)、渦旋(xuan)泵、爪(zhao)形(xing)泵(beng)):适用于無(wu)油清潔的(de)真空工(gong)藝(yi)過程(cheng),例如(ru)半導體行(hang)業、電子行(hang)業、化工行(hang)業等(deng)各種(zhong)工藝中,這(zhe)幾種(zhong)泵都(dou)能(neng)直(zhi)排大(da)氣。
8、吸附泵:适合于各(ge)種真空電(dian)子器(qi)件、集成電路、分析儀器、表(biao)面儀器、以及各種要(yao)求清潔無(wu)油的真(zhen)空(kong)系統(tong)中使用。
9、钛泵(濺(jian)射離子(zi)泵(beng)、升華泵):适用于真空(kong)鍍膜、電真空器(qi)件、大(da)規模(mo)集成(cheng)電路(lu)、表(biao)面物理(li)、表面化學、熱核(he)物理、等(deng)離(li)子體(ti)物理、超(chao)導(dao)技術(shu)等工作中(zhong)。
10、分子泵:适用于真空(kong)鍍膜、集成電路、表面(mian)物理、表面(mian)化學(xue)、等離(li)子體(ti)物理、光學儀器(qi)、熱核反應、宇航(hang)技術(shu)等工(gong)作中(zhong)。
11、水噴射泵(beng):适合(he)于真(zhen)空(kong)倒(dao)料、真(zhen)空輸送、化(hua)工、化纖、制(zhi)藥、油漆、油(you)脂、造紙、燒(shao)堿、制(zhi)糖、食品(pin)、制磚、真(zhen)空除(chu)氧等工業領域(yu)。
12、水蒸氣噴(pen)射泵(beng):适(shi)合(he)于真(zhen)空冶(ye)煉、真空脫(tuo)氣、真空蒸(zheng)發、真(zhen)空幹(gan)燥、真空回(hui)潮等工(gong)業(ye)領域(yu)。
13、低溫泵:适合于(yu)真空(kong)鍍膜、表面物理(li)、超導技術(shu)、宇航技術(shu)等領(ling)域中(zhong)。