真空(kong)泵的用途(tu)及使(shi)用的(de)工業類型(xing)
一、真空泵的用途分類:
1、主泵:在(zai)真空系(xi)統中,用來獲(huo)得所(suo)要求(qiu)的真(zhen)空度(du)的真(zhen)空泵(beng)。
2、粗抽泵:從(cong)大氣壓開(kai)始,降低系(xi)統的壓力(li)達到(dao)另一(yi)抽氣(qi)系統開始工作(zuo)的真空(kong)泵(beng)。
3、前級泵:用(yong)以使(shi)另一(yi)個泵的前(qian)級壓(ya)力維持在其.高(gao)許可的前級壓(ya)力以下的真空(kong)泵。前級泵(beng)也可以作粗抽(chou)泵使(shi)用。
4、維(wei)持泵(beng):在真空系(xi)統中配置(zhi)一種(zhong)容(rong)量(liang)較小(xiao)的輔(fu)助前級泵(beng),維持主(zhu)泵(beng)正常(chang)工作或(huo)維持已(yi)抽空的(de)容器所(suo)需之低(di)壓的真(zhen)空泵(beng)。
5、粗(低(di))真空(kong)泵:從大(da)氣壓開(kai)始,降低(di)容(rong)器壓力且工(gong)作在低(di)真空範圍(wei)的真(zhen)空泵(beng)。
6、高(gao)真空泵(beng):在高真空(kong)範圍(wei)工作的真(zhen)空泵(beng)。
7、超高(gao)真(zhen)空(kong)泵:在(zai)超高真空(kong)範圍(wei)内工作的(de)真空(kong)泵。
8、增壓(ya)泵:裝在(zai)高真空泵和低(di)真空(kong)泵之(zhi)間,用(yong)來提高抽氣系(xi)統在(zai)中(zhong)間壓力(li)範圍内的(de)抽氣量或(huo)降低(di)前級(ji)泵容量(liang)要求的(de)真空(kong)泵(如機械(xie)增壓泵(beng)和(he)油增壓泵等)。

二、各種(zhong)真空泵适(shi)用的(de)工藝(yi)類(lei)型:
1、水環(huan)真空泵(beng):适(shi)用于真空濃縮、真空(kong)脫水(shui)、真空脫色、真空(kong)幹燥、真空(kong)保鮮、真(zhen)空(kong)儲藏(cang)、真空輸送、真空(kong)成型等(deng)工(gong)藝。
2、往(wang)複真空泵:适用(yong)于真空(kong)蒸(zheng)餾、真空濃(nong)縮、真空浸(jin)漬、真空過(guo)濾、真(zhen)空造(zao)型(xing)、真(zhen)空幹(gan)燥、鋼(gang)液真(zhen)空處(chu)理等(deng)工藝(yi)。往複(fu)真空泵與(yu)水環(huan)真空泵(beng)的(de)使用(yong)工藝基本(ben)相同。但是(shi),往(wang)複(fu)真空(kong)泵不(bu)能直(zhi)接抽(chou)水蒸(zheng)氣,需要抽(chou)水蒸氣時一定(ding)要配(pei)備冷阱,采(cai)用制冷壓(ya)縮機(ji)系統冷卻。
3、油封(feng)機械真(zhen)空泵(包括滑閥泵、旋片(pian)泵、定片泵(beng)):适用(yong)于真空蒸餾、真(zhen)空幹燥(zao)、真(zhen)空浸漬、真空(kong)燒(shao)結、真(zhen)空絕(jue)熱(re)、真(zhen)空釺(qian)焊、真空鍍膜、真(zhen)空熱處理等工藝。當(dang)前,油(you)封機(ji)械真空泵(beng)作為(wei)直排大(da)氣(qi)的真(zhen)空泵(beng),使(shi)用(yong)的量(liang)大面(mian)廣。
4、羅(luo)茨真(zhen)空泵(beng)(機械增壓(ya)泵):适用于真空(kong)燒結、真空(kong)釺焊(han)、真空浸(jin)漬、真空(kong)幹燥、真(zhen)空(kong)鍍膜(mo)、真空(kong)輸送(song)、真空(kong)冶煉等(deng)工(gong)藝。絕(jue)大多(duo)數羅茨泵(beng)都不能(neng)用于直(zhi)排大氣,需要配(pei)備旋片泵或滑閥泵作(zuo)為(wei)前級(ji)泵使(shi)用(yong)。濕(shi)式羅(luo)茨泵(beng)可以直排(pai)大氣,主要用于(yu)造紙工業(ye)。
5、油增(zeng)壓泵:适用(yong)于真(zhen)空冶煉、真(zhen)空燒(shao)結、真(zhen)空釺(qian)焊、真(zhen)空熱處(chu)理等工(gong)藝。它與機(ji)械增(zeng)壓泵(beng)相類似,不(bu)能直排大(da)氣,必(bi)須用旋片(pian)泵或(huo)滑閥泵(beng)等(deng)作為(wei)前級(ji)泵(beng)使用。
6、油(you)擴散(san)泵(beng):适(shi)用于(yu)真空鍍(du)膜(mo)、真空(kong)熱處(chu)理(li)、真(zhen)空冶(ye)煉、真(zhen)空提純、真(zhen)空分析儀(yi)器、真(zhen)空檢漏儀、生産(chan)電真(zhen)空器(qi)件、宇(yu)宙空(kong)間模(mo)拟、加(jia)速器真空系統(tong)等工(gong)藝中(zhong)使用(yong)。它适合于(yu)抽取(qu)高真(zhen)空,本(ben)身不(bu)能直排(pai)大(da)氣,必須配備前(qian)級泵(beng)使用。
7、幹(gan)式(shi)真空(kong)泵(螺(luo)杆泵(beng)、渦旋(xuan)泵、爪形(xing)泵(beng)):适用(yong)于無油清(qing)潔的(de)真空(kong)工藝(yi)過程(cheng),例如(ru)半導體行(hang)業、電子行(hang)業、化工行(hang)業等(deng)各種(zhong)工藝中,這(zhe)幾種(zhong)泵都(dou)能直(zhi)排大(da)氣。
8、吸(xi)附(fu)泵(beng):适合于各種(zhong)真空電(dian)子器件(jian)、集(ji)成電(dian)路、分(fen)析(xi)儀(yi)器、表(biao)面儀(yi)器、以(yi)及各種要求清潔無(wu)油的真空(kong)系統(tong)中使(shi)用。
9、钛泵(濺(jian)射離子泵(beng)、升華(hua)泵):适(shi)用于真空(kong)鍍膜(mo)、電(dian)真空器件、大(da)規模(mo)集成(cheng)電路、表面(mian)物理、表面(mian)化(hua)學、熱核(he)物理(li)、等離(li)子體(ti)物理(li)、超導技術(shu)等工作(zuo)中。
10、分子(zi)泵:适(shi)用于(yu)真空(kong)鍍膜(mo)、集成電路(lu)、表面(mian)物(wu)理、表面(mian)化學(xue)、等(deng)離子體物理(li)、光學(xue)儀器(qi)、熱核反(fan)應(ying)、宇航技術(shu)等工作中(zhong)。
11、水噴射泵:适合(he)于真(zhen)空倒料、真(zhen)空輸送、化(hua)工、化(hua)纖、制藥(yao)、油漆、油(you)脂、造(zao)紙、燒堿、制糖、食(shi)品、制磚、真(zhen)空除(chu)氧等(deng)工業領域(yu)。
12、水(shui)蒸(zheng)氣噴(pen)射泵:适合(he)于真(zhen)空冶煉(lian)、真空脫(tuo)氣、真(zhen)空(kong)蒸(zheng)發、真(zhen)空幹燥、真空回(hui)潮等工業(ye)領域(yu)。
13、低溫(wen)泵:适合于(yu)真空鍍膜、表面物理(li)、超導技術(shu)、宇航技術(shu)等領(ling)域中(zhong)。